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真空熱壓鍵合機(jī)操作要嚴(yán)格按照以下步驟進(jìn)行

更新時(shí)間:2022-06-20      點(diǎn)擊次數(shù):1094
  真空熱壓鍵合機(jī)采用恒溫控制加熱技術(shù),控溫準(zhǔn)確;鋁合金工作平臺(tái),頂?shù)灼秸?,?dǎo)熱快,導(dǎo)熱均勻;加熱面積大,覆蓋普通尺寸芯片;采用進(jìn)口氣動(dòng)件和電子配件,設(shè)備穩(wěn)定*。采用進(jìn)口數(shù)字壓力表,顯示直觀,質(zhì)量穩(wěn)定,經(jīng)久耐用。水冷和均勻的冷卻速度有利于提高粘合效果??;采用進(jìn)口精密調(diào)壓閥,壓力穩(wěn)定可調(diào),針對(duì)不同物料選擇不同的壓力控制;*的真空熱壓系統(tǒng)大大提高鍵合而不損壞芯片,適用于PMMA、PC、COC等硬質(zhì)塑料芯片的鍵合。
  

真空熱壓鍵合機(jī)

 

  真空熱壓鍵合機(jī)操作要嚴(yán)格按照以下步驟進(jìn)行:
  
  1、檢查真空熱壓機(jī)、真空泵、空壓機(jī)的電源線是否連接正確,檢查各部分的氣體管路是否連接正確,關(guān)閉系統(tǒng)各部分的閥門和開(kāi)關(guān)。
  
  2、將待粘接芯片置于工作平臺(tái)(或相應(yīng)夾具)中間,調(diào)整氣缸行程,關(guān)閉艙門,打開(kāi)真空泵,排除熱壓機(jī)內(nèi)空氣。
  
  3、按下氣缸控制開(kāi)關(guān),確定芯片上的壓力。
  
  4、溫度設(shè)定:調(diào)節(jié)上下板溫度調(diào)節(jié)旋鈕至所需溫度。
  
  5、按下上下板的溫控開(kāi)關(guān),開(kāi)始芯片的加熱鍵合。
  
  6、熱壓貼合后,關(guān)閉上下板溫控開(kāi)關(guān),使加熱板停止工作。
  
  7、溫度自然冷卻到工藝參數(shù)后,加空氣平衡內(nèi)外壓力。
  
  8、打開(kāi)艙門,采用氣動(dòng)風(fēng)冷方式,加快降溫速度。
  
  9、當(dāng)真空熱壓鍵合機(jī)溫度降至50℃以下時(shí),按下氣缸按鈕將氣缸抬起,完成粘合。
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