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微納結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述:微納結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量?jī)x系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測(cè)儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長(zhǎng)作為測(cè)量基準(zhǔn),利用納米級(jí)高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,實(shí)現(xiàn)連續(xù)或臺(tái)階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),由此獲得待測(cè)物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測(cè)量結(jié)果。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪  問  量:2143

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品牌FLOWX產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,電子

 

系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測(cè)儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長(zhǎng)作為測(cè)量基準(zhǔn),利用納米級(jí)高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,實(shí)現(xiàn)連續(xù)或臺(tái)階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),由此獲得待測(cè)物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測(cè)量結(jié)果。

微納結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量?jī)x本產(chǎn)品具有以下特點(diǎn):
高的測(cè)量精度:基于干涉測(cè)量原理,測(cè)量重復(fù)性達(dá)到1nm。
大的測(cè)量范圍:采用*掃描系統(tǒng),在保證納米定位精度的同時(shí),單場(chǎng)掃描范圍可達(dá)到10mm,結(jié)合白光光源重構(gòu)方法,可滿足曲面元件等大范圍物體測(cè)量需求。
全自動(dòng)測(cè)量:標(biāo)配自動(dòng)檢焦功能,結(jié)合自動(dòng)調(diào)焦裝置,無需復(fù)雜調(diào)節(jié)過程,一鍵操作即可完成調(diào)焦、檢測(cè)全過程。選配自動(dòng)二維平臺(tái),可自動(dòng)完成大面積三維數(shù)據(jù)拼接操作
高集成度、安裝簡(jiǎn)便:整機(jī)集成為統(tǒng)一整體,僅需外接220v電源,通過USB3.0 數(shù)據(jù)傳輸,即可完成數(shù)據(jù)傳輸與測(cè)量
具有高的性價(jià)比:保證系統(tǒng)性能的同時(shí),降低制造成本
靈活性高:可根據(jù)用戶需求,對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn),滿足工業(yè)不同應(yīng)用場(chǎng)景需求。

微納結(jié)構(gòu)三維形貌測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

3DNM-W50

光源

LED

CCD分辨率

2040×1080

調(diào)焦方式

自動(dòng)

縱向掃描范圍

4mm

縱向掃描速度

15μm/s

傾斜調(diào)整范圍

縱向分辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

橫向分辨率

650nm(20倍物鏡)

臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性

1nm

XY樣品臺(tái)行程

100mm×100mm(手動(dòng))

Z軸行程

50mm(自動(dòng))

重量

50Kg

外形尺寸

550mm×380mm×680mm

數(shù)據(jù)傳輸接口

USB 3.0

 

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